主要性能指標

爐室資料 Puller Data
坩堝直徑 Crucible  diameter：14〞- 18〞
單晶直徑 Crystal diameter：4〞- 8〞
裝料量 Charge size：60 kg
喉管直徑 Throat Diameter：10 ”(254 mm)
主爐膛內徑 Main furnace Diameter：￠1120 mm
主爐膛高度 Main furnace Height：1480 mm
爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening： 11”×68”（280 mm×1727 mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 1/min)
輔助真空泵抽速(Recommended) Aux：60 cfm (1,700 1/min)
排氣方式Exhaust：底排氣Exhaust end
副室類型Deputy room type：全開門Full-door
爐蓋類型Lid Type：穹頂Dome
磁場類型Field type：勾型、水平型（可選）hook type, horizontal type (optional)
有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩堝驅動單位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度 Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke：11.5〞(292 mm)
轉速Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度 Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度 Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
轉速 Rotation speed：0-50 rpm

廠務要求 Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380 V±10%
頻率（Frequency）：50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）：260 KW底部加熱5 0KW
環境溫度（Ambient Temperature）：5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 1/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1 kg/cm2)  
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.))：200 slpm
吹掃流量 (Purge Flow)：100 slpm
合計（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力 Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/cm2)
壓縮空氣（Air）
推薦壓力 Recommended Supply Pressure：90 psi (6.3 kg/cm2)

控制系統 System Control
自動過程 Automatic process
標準PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸 Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：5,109mm
寬 Width (W)：1,702mm
深 Depth (D)：1,302mm