主要性能指標

爐室資料Puller Data
坩堝直徑Crucible Diameter：22”-32”  
單晶直徑Crystal Diameter：8”-12”
裝料量Charge Size：450 kg
爐筒直徑Vessel Diameter：1200 mm
喉管直徑Throat Diameter：355mm

坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度Lifting Speed：0-10 in / hr(0-254mm/hr)
最大行程Total Crucible Travel： 20”( 508 mm)
轉速Rotation Speed:0-20 rpm(std option)最大可達30rpm

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting Speed： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
轉速Rotation Speed： 0-50 rpm

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380 V±10%
頻率(Frequency)：50 Hz
加熱功率（Heating Power）：250 KW預留雙加熱器
環境溫度（Ambient Temperature）：5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature)：25℃
最小流量(Minimum Flow Rate)：350 L/min
入口出口壓力差(Diff.Supply Pressure)：＞1.5kg/cm2
主氬氣流量Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)：100 slpm
合計(Facility Total)：300 slpm
推薦壓力(Recommended Supply Pressure)：＞4.5 kg/cm2 
壓縮空氣(Air)
推薦壓力(Recommended Supply Pressure)：＞5.5 kg/cm2

控制系統System Control
全自動生長控制過程Automatic Growing Control Process
標準PLC/PC控制Control by PLC / PC：equipped as standard

選項Options  
多晶硅進料系統 Polysilicon Feeding System
真空泵Vacuum Pumping          
真空過濾系統Vacuum Filter System
取晶車 Crystal Cart
坩堝裝卸系統 Crucible Handing System

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：8,784.6 mm
寬 Width (W)：1,580 mm
深 Depth (D)：2,150 mm