主要性能指標

爐室資料Puller Data
單晶直徑Crystal diameter：12〞- 18〞
裝料量Charge size：450kg
喉管直徑Throat Diameter：28”~36”
主爐膛內徑Main furnace Diameter：Φ1300mm
主爐膛高度Main furnace Height：1938mm

爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening: 520mm×2800mm

喉管直徑(Throat Diameter)：Φ500 mm

主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main: 221 cfm (6,260 l/min)

輔助真空泵抽速(Recommended) Aux: 60 cfm (1,700 l/min)

副室類型Deputy room type：全開門Full-door 

爐蓋類型Lid Type：穹頂 Dome或扁平 Flat
磁場類型Field type：勾型、水平型（可選）hook type, horizontal type (optional)
有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度( Lifting speed)：0-4mm/min
最快提升速度(Fast Seed Lift Rate)：(≥150mm/min) 

行程 Stroke：800mm
轉速 Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驅動單位 Crystal drive unit

籽晶提升慢速(Seed Lift Rate):0-8 mm/mim

籽晶提升快速(Fast Seed Lift Rate):≥620 mm/min

籽晶行程(Seed Travel):4000 mm

籽晶旋轉(Seed Rotation):0-30 rpm

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380V±10%
頻率（Frequency）:50/60 Hz
主變壓器（Main Transformer）：320 KVA
副變壓器(Subsidiary Transformer)：67 KVA
環境溫度（Ambient Temperature）：5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature) 77°F (25℃)
最小流量（Minimum Flow Rate）：≥400 L/min
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：2.0-3.0 bar
主氬氣流量（Mass Flow Control Max.)：100-200 L/min
壓力(Pressure)：3.5-5 bar
壓縮空氣（Air）
極限真空(Ultimate Vacuum)：≤30m Torr
泄漏率(Leakage Rate)：≤40m Torr/h
可控壓力范圍(Controllable Pressure Scope)：10-50 Torr
推薦壓力(Recommended Supply Pressure)：4-7 bar
消耗量(Consumption)：100 L/爐次

控制系統System Control
自動過程Automatic process
標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：8,311mm
寬 Width (W)：2,500mm
深 Depth (D)：3,424mm