1、流量開關---如果低流量切斷加熱器開關激活（30秒）
2、熱敏開關（11處）--警報
3、爐內高/低壓力，包括真空泵不起作用了—警報
4、籽晶提升行程上下限位—切斷馬達
5、坩堝提升行程上下限位—切斷馬達
6、生長爐內過壓保護—機械泄壓（三個位置：真空管道、副真空管道、底板上腔體分離）
7、所有直流和交流的電流保護—空氣斷路器
8、液壓升降—當加熱器打開時無效
9、加熱器電源—當單晶生長爐打開時無效
10、爐筒提升—當拉升腔/爐蓋未完全搖擺到一邊時無效
11、液壓系統回流保護—如果失去控制就要停止流動
12、液壓泵的三相電源超載防護（包含真空泵）--可復位的斷路器
13、不間斷的電源供應器（UPS）---保護生長爐控制系統組件
14、四個馬達驅動過電流保護---電子保護和熔斷保護
15、緊急應急系統面板（開關板設置）-在PLC出現故障時提供多種控制項目，包括加熱器功率、氣體和真空閥、氣體流量、坩堝/籽晶的位置、提升/旋轉速率
16、模擬板-即使在控制臺監測失敗時，圖形顯示閥門狀態、水量、氬氣供應和過熱位置
17、機械式真空計—測量室內的壓力，當PLC、觸摸屏或者電源故障時（若隔離閥關閉，只顯示爐筒壓力）
18、氬氣旁通閥門—當功率出現問題時，允許氬氣進入槽內
19、氣動真空管路閥---斷電時防止真空泵油回流及腔體倒吸
20、爐蓋安全鎖—防止爐內壓力過大時噴出外面
21、隔離閥鎖—保持隔離閥處在開啟的狀態
22、隔離閥協助彈開---松懈地關閉隔離閥
23、氬氣壓力開關—廠務低壓力警報
24、信號隔離—在所有的數碼和模擬輸入和輸出
25、15伏特的電源供應電流---電子防護
26、24伏特的電源供應電流---電子防護
27、爐蓋擋板—使爐筒/拉升腔在爐身上連接成一體
28、爐筒導向定位桿—防止爐筒搖晃到熱場
29、隔離閥位置開關—提供閥門位置反饋給控制系統
30、籽晶提升軟件限制---當籽晶行程到達限制后切斷馬達
31、壓縮空氣開關—廠務低壓力報警

加熱器電源供應器（典型的）
主電力變壓器輸入超負載的防護---關閉單元
主電力變壓器輸出超負載的防護—熔斷保險絲，變壓器二次側
熱敏開啟主電力變壓器—關閉單元。
熱敏開啟功率半導體元件—關閉單元
電源過電流保護—警告，
接地保護—警告，切斷電源輸出