本控制系統以國際先進單晶爐控制核心技術為基礎，融入單晶爐使用廠家多年的使用經驗，設計、開發出的一套全新的更可靠、更安全實用的單晶生長爐。 1、采用高分辨率雙CCD直徑控制系統（200萬像素以上），使單晶直徑控制精度達到0.1mm以內； 2、高精度、高穩定的爐壓控制系統，采用三只不同量程的壓力真空...

單晶生長爐 1、流量開關---如果低流量切斷加熱器開關激活（30秒） 2、熱敏開關（11處）--警報 3、爐內高/低壓力，包括真空泵不起作用了—警報 4、籽晶提升行程上下限位—切斷馬達 5、坩堝提升行程上下限位—切斷馬達 6、生長爐內過壓保護—機械泄壓（三個位置：真空管道、副真空管道、底板上腔...

1、CCD控制，測量方法：測量精度達到0.1mm，單晶頭尾直徑偏差在1mm以內，完全兼容拉制<100>、<111>、<110>等規格的單晶 2、真空計采用分量程薄膜真空計（0~1Torr、0~100Torr、0~1000Torr），使壓力測量精度更高，測量真空值不...